ACQD140X10SBT
上海雙旭 ACQD140X10SBT 介紹
產(chǎn)品概述
上海雙旭 ACQD140X10SBT 是一款高精度數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器(MFC),基于熱式傳感原理設(shè)計,適用于潔凈氣體、腐蝕性氣體及混合氣體的流量測量與控制。設(shè)備采用緊湊型結(jié)構(gòu),支持寬量程比與快速響應(yīng),廣泛用于半導(dǎo)體制造、光伏、分析儀器、生物制藥等工業(yè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù)
- 型號:ACQD140X10SBT
- 流量范圍:0~10 SLM(標準升/分鐘)
- 精度等級:±1.0% F.S.(滿量程)
- 重復(fù)性:±0.2% F.S.
- 響應(yīng)時間:<1 s(達到設(shè)定值90%)
- 工作壓力:最大 300 kPa(絕對壓力)
- 工作溫度:5~50 ℃(環(huán)境溫度);介質(zhì)溫度 -10~70 ℃
- 供電電源:24 VDC ±10%,功耗 ≤5 W
- 輸出信號:4~20 mA(模擬量)、RS485(Modbus RTU 協(xié)議)
- 控制方式:外部設(shè)定或內(nèi)部設(shè)定(通過通訊接口)
- 接口規(guī)格:Φ6 mm 卡套接頭(兼容 Swagelok 等)
- 材質(zhì):本體 316L 不銹鋼;密封件 PTFE/FKM 可選
- 防護等級:IP65(殼體)
功能特性
內(nèi)置溫度補償和數(shù)字信號處理,保證全工況穩(wěn)定測量;支持多氣體校準曲線存儲,一鍵切換氣體類型;具備過壓保護與零點自校正功能;可接入上位機或 PLC 進行集中監(jiān)控和閉環(huán)控制。
使用注意事項
- 安裝前確認氣體種類與設(shè)備校準氣體一致,避免測量偏差或損壞傳感器。
- 介質(zhì)中不得含有顆粒、油污或液態(tài)水,必要時加裝前置過濾器與干燥器。
- 工作壓力嚴禁超過額定最大值,防止膜片變形或泄漏。
- 避免強電磁干擾環(huán)境,RS485 通訊線需屏蔽并單端接地。
- 長期停用應(yīng)關(guān)閉氣源并排空管路,防止腐蝕或雜質(zhì)沉積。
- 零點校準需在零氣流狀態(tài)下執(zhí)行,確保測量準確性。
- 拆卸維修必須由專業(yè)人員操作,更換密封件時注意清潔度要求。
- 禁止帶電插拔電氣接口,防止電路損壞。
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