ACQD140X10SBT
上海雙旭 ACQD140X10SBT 介紹
產(chǎn)品概述
上海雙旭 ACQD140X10SBT 是一款高精度數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），基于熱式傳感原理設(shè)計，適用于潔凈氣體、腐蝕性氣體及混合氣體的流量測量與控制。設(shè)備采用緊湊型結(jié)構(gòu)，支持寬量程比與快速響應(yīng)，廣泛用于半導(dǎo)體制造、光伏、分析儀器、生物制藥等工業(yè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù)
- 型號：ACQD140X10SBT
- 流量范圍：0~10 SLM（標準升/分鐘）
- 精度等級：±1.0% F.S.（滿量程）
- 重復(fù)性：±0.2% F.S.
- 響應(yīng)時間：<1 s（達到設(shè)定值90%）
- 工作壓力：最大 300 kPa（絕對壓力）
- 工作溫度：5~50 ℃（環(huán)境溫度）；介質(zhì)溫度 -10~70 ℃
- 供電電源：24 VDC ±10%，功耗 ≤5 W
- 輸出信號：4~20 mA（模擬量）、RS485（Modbus RTU 協(xié)議）
- 控制方式：外部設(shè)定或內(nèi)部設(shè)定（通過通訊接口）
- 接口規(guī)格：Φ6 mm 卡套接頭（兼容 Swagelok 等）
- 材質(zhì)：本體 316L 不銹鋼；密封件 PTFE/FKM 可選
- 防護等級：IP65（殼體）
功能特性
內(nèi)置溫度補償和數(shù)字信號處理，保證全工況穩(wěn)定測量；支持多氣體校準曲線存儲，一鍵切換氣體類型；具備過壓保護與零點自校正功能；可接入上位機或 PLC 進行集中監(jiān)控和閉環(huán)控制。
使用注意事項
- 安裝前確認氣體種類與設(shè)備校準氣體一致，避免測量偏差或損壞傳感器。
- 介質(zhì)中不得含有顆粒、油污或液態(tài)水，必要時加裝前置過濾器與干燥器。
- 工作壓力嚴禁超過額定最大值，防止膜片變形或泄漏。
- 避免強電磁干擾環(huán)境，RS485 通訊線需屏蔽并單端接地。
- 長期停用應(yīng)關(guān)閉氣源并排空管路，防止腐蝕或雜質(zhì)沉積。
- 零點校準需在零氣流狀態(tài)下執(zhí)行，確保測量準確性。
- 拆卸維修必須由專業(yè)人員操作，更換密封件時注意清潔度要求。
- 禁止帶電插拔電氣接口，防止電路損壞。
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