ZJ-10 真空規(guī)管（電離規(guī)管）
上海雙旭 ZJ-10 真空規(guī)管（電離規(guī)管）介紹
產(chǎn)品概述：ZJ-10 為上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的電離式真空規(guī)管，基于熱陰極電離原理測(cè)量高真空度，適用于真空系統(tǒng)的高精度壓力監(jiān)測(cè)與控制，常用于科研、半導(dǎo)體制造、真空冶金及分析儀器等領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁵ Pa（標(biāo)準(zhǔn)型），部分型號(hào)可擴(kuò)展至 1×10⁻⁶ Pa
- 工作電壓：燈絲加熱電壓 4.5V~6.3V AC/DC；收集極高壓 -30V~-100V（可調(diào)）
- 發(fā)射電流：典型 5mA，可調(diào)范圍 1~10mA
- 靈敏度：≥0.15Pa⁻¹（氮?dú)鈽?biāo)定）
- 響應(yīng)時(shí)間：≤1s（滿量程變化）
- 工作溫度：-20℃ ~ +50℃
- 預(yù)熱時(shí)間：≤3min（達(dá)到穩(wěn)定讀數(shù)）
- 接口形式：DN16 ISO-KF 法蘭或 CF16 法蘭可選
- 材料：304不銹鋼殼體，耐高溫陶瓷絕緣件
- 壽命：連續(xù)工作 ≥5000小時(shí)（視工況而定）
結(jié)構(gòu)與工作原理
ZJ-10 采用三電極結(jié)構(gòu)：熱陰極發(fā)射電子，電子在柵極加速并與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子，正離子被帶負(fù)電位的收集極捕獲形成離子流，離子流與氣體壓力成正比關(guān)系，通過電路換算得到真空度。適合中高真空段的精確測(cè)量，不能直接用于大氣壓或粗真空段。
使用注意事項(xiàng)
- 禁止在壓力高于 1×10⁻¹ Pa（約粗真空上限）下長時(shí)間通電，否則會(huì)燒毀燈絲。
- 首次上電或更換環(huán)境需預(yù)熱至少 3分鐘，確保讀數(shù)穩(wěn)定。
- 電離規(guī)對(duì)氣體種類敏感，不同氣體靈敏度差異顯著，標(biāo)定需用實(shí)際工況氣體或換算系數(shù)修正。
- 避免機(jī)械沖擊與劇烈振動(dòng)，防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)位移或玻璃部件破裂。
- 安裝時(shí)需保證法蘭密封可靠，防止漏氣影響測(cè)量精度。
- 規(guī)管工作時(shí)收集極高電位，嚴(yán)禁在通電狀態(tài)下觸碰高壓部位或進(jìn)行拆卸操作。
- 長期停用應(yīng)斷電并存放于干燥環(huán)境，防止受潮導(dǎo)致絕緣性能下降。
- 更換燈絲或維修須由專業(yè)人員進(jìn)行，非專業(yè)人員勿拆解。
應(yīng)用領(lǐng)域
適用于分子泵+機(jī)械泵組合的高真空系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、粒子加速器真空段、質(zhì)譜儀真空腔、半導(dǎo)體工藝腔室等需要高精度中高真空測(cè)量的場(chǎng)合。
ZJ-10 真空規(guī)管（電離規(guī)管）
上海雙旭ZJ-10電離真空規(guī)管產(chǎn)品使用說明
一、產(chǎn)品概述
ZJ-10電離真空規(guī)管是上海雙旭研發(fā)生產(chǎn)的一款用于高真空測(cè)量的核心器件，主要通過電離原理檢測(cè)真空環(huán)境中的氣體分子密度，進(jìn)而轉(zhuǎn)換為真空度數(shù)值，適配各類真空系統(tǒng)的真空度監(jiān)測(cè)需求，測(cè)量范圍覆蓋10⁻¹~10⁻⁵Pa區(qū)間。
二、安裝要求
1. 規(guī)管需垂直或水平安裝于真空系統(tǒng)的合適位置，確保測(cè)量端充分接觸被測(cè)真空環(huán)境，避免安裝在易產(chǎn)生氣流擾動(dòng)或顆粒沉積的區(qū)域；2. 安裝前需確認(rèn)規(guī)管接口與系統(tǒng)接口匹配，通常采用KF或CF標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接，安裝時(shí)需做好密封處理，防止漏氣影響測(cè)量精度；3. 規(guī)管的引腳需正確連接至對(duì)應(yīng)的真空計(jì)控制單元，嚴(yán)格按照接線標(biāo)識(shí)區(qū)分燈絲腳、收集極腳等，避免接反損壞器件。
三、操作步驟
1. 預(yù)熱啟動(dòng)：在真空系統(tǒng)達(dá)到粗真空狀態(tài)（通常≤10Pa）后，開啟真空計(jì)電源，為規(guī)管燈絲提供預(yù)熱電流，預(yù)熱時(shí)間建議控制在15~30分鐘，確保燈絲穩(wěn)定工作；2. 測(cè)量啟動(dòng)：預(yù)熱完成后，切換至電離測(cè)量模式，真空計(jì)將自動(dòng)采集規(guī)管電離信號(hào)并轉(zhuǎn)換為真空度數(shù)值顯示；3. 量程切換：根據(jù)真空度變化，真空計(jì)會(huì)自動(dòng)切換量程，若手動(dòng)切換需按照設(shè)備說明書操作，避免跨量程沖擊損壞規(guī)管；4. 停機(jī)操作：停機(jī)前需先關(guān)閉電離測(cè)量模式，僅保留燈絲預(yù)熱或直接關(guān)閉燈絲電源，待真空系統(tǒng)恢復(fù)至常壓前，確保規(guī)管處于非工作狀態(tài)。
四、維護(hù)與注意事項(xiàng)
1. 定期檢查規(guī)管接口密封性，若發(fā)現(xiàn)真空度異常波動(dòng)，需排查密封部件是否老化損壞；2. 燈絲為易耗部件，當(dāng)出現(xiàn)測(cè)量精度下降、燈絲易燒斷等情況時(shí)，需及時(shí)更換同型號(hào)燈絲；3. 規(guī)管長期暴露于大氣環(huán)境后，再次使用前需進(jìn)行烘烤除氣處理，烘烤溫度建議控制在100~150℃，去除吸附在規(guī)管內(nèi)部的氣體；4. 避免規(guī)管接觸腐蝕性氣體或大量顆粒雜質(zhì)，防止電離室被污染，影響測(cè)量性能。
上海雙旭ZJ-10電離真空規(guī)管產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
一、測(cè)量精度高且穩(wěn)定
ZJ-10規(guī)管采用優(yōu)化的電離室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保氣體分子電離效率穩(wěn)定，搭配高精度信號(hào)處理技術(shù)，在10⁻¹~10⁻⁵Pa的測(cè)量范圍內(nèi)，測(cè)量誤差可控制在±5%以內(nèi)，能夠?yàn)檎婵障到y(tǒng)提供可靠的真空度數(shù)據(jù)。
二、使用壽命長
規(guī)管燈絲采用耐高溫、抗濺射的特殊材料制作，有效延長燈絲使用壽命，正常使用情況下，燈絲壽命可達(dá)數(shù)千小時(shí)；同時(shí)電離室內(nèi)部經(jīng)過特殊工藝處理，抗污染能力強(qiáng)，減少因雜質(zhì)沉積導(dǎo)致的性能衰減。
三、適配性強(qiáng)
規(guī)管采用標(biāo)準(zhǔn)化接口設(shè)計(jì)，可與市面上主流的真空計(jì)控制單元兼容，無需額外定制適配部件；同時(shí)支持多種安裝方式，能夠靈活適配不同類型的真空系統(tǒng)，如真空鍍膜機(jī)、真空熱處理爐等設(shè)備。
四、操作便捷
規(guī)管工作狀態(tài)穩(wěn)定，預(yù)熱時(shí)間短，啟動(dòng)后可快速進(jìn)入測(cè)量模式；搭配配套真空計(jì)使用時(shí)，具備自動(dòng)量程切換、故障報(bào)警等功能，操作人員無需復(fù)雜調(diào)試即可完成真空度監(jiān)測(cè)工作，降低操作門檻。 |
