ZJ-27 高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）
上海雙旭 ZJ-27 高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）
產(chǎn)品概述
ZJ-27 是一種熱陰極電離真空規(guī)管，用于高真空和超高真空范圍的精確測量。其玻璃外殼適用于大多數(shù)常規(guī)真空系統(tǒng)，通過測量氣體分子電離產(chǎn)生的離子流來反推真空度。
主要技術(shù)參數(shù)
- 測量范圍： 1.0×10⁻¹ Pa ~ 1.0×10⁻⁵ Pa（常規(guī)型）
- 陰極（燈絲）材料： 鎢絲
- 柵極電壓： +225 V（典型工作值）
- 收集極電壓： -25 V（典型工作值）
- 發(fā)射電流： 通常為 1 mA 或 10 mA（可切換）
- 靈敏度（氮?dú)獾刃В?/strong> 約 0.15 Pa⁻¹（具體值以出廠校準(zhǔn)為準(zhǔn)）
- 連接方式： 標(biāo)準(zhǔn)玻璃芯柱，配相應(yīng)電連接器
- 外殼材質(zhì)： 硼硅玻璃
- 安裝方式： 通常為標(biāo)準(zhǔn)法蘭（如CF、KF或金屬法蘭接口，具體取決于型號(hào)配置）
使用注意事項(xiàng)
- 大氣保護(hù)： 規(guī)管必須在真空度優(yōu)于 10⁻¹ Pa 時(shí)才能開啟燈絲加熱，絕對禁止在大氣或低真空狀態(tài)下通電，否則將瞬間燒毀燈絲。
- 安裝方向： 建議開口向下或水平安裝，避免顆粒物落入規(guī)管內(nèi)部。
- 清潔與烘烤： 如系統(tǒng)需要烘烤，烘烤溫度不得超過玻璃承受極限（通常≤450°C），且應(yīng)斷開規(guī)管電連接。避免油脂或污染物接觸規(guī)管內(nèi)部。
- 燈絲使用： 通常配備兩根燈絲，可切換使用以延長壽命。當(dāng)一根燈絲斷裂或污染后，可切換至備用燈絲。
- 氣體影響： 測量讀數(shù)對氣體種類敏感，校準(zhǔn)系數(shù)通常針對氮?dú)�。測量活性氣體或有機(jī)蒸汽可能導(dǎo)致靈敏度變化、燈絲中毒或碳化，影響精度與壽命。
- 電氣連接： 確保電極電壓（柵壓、收集極電壓、燈絲電壓）嚴(yán)格符合配套控制器要求，錯(cuò)誤接線會(huì)導(dǎo)致規(guī)管損壞或測量失準(zhǔn)。
- 振動(dòng)與沖擊： 玻璃外殼易碎，應(yīng)避免機(jī)械沖擊和劇烈振動(dòng)。
- 存放： 存放于干燥清潔環(huán)境，最好保持真空或充干燥惰性氣體密封。
典型應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于科研實(shí)驗(yàn)室、真空鍍膜、粒子加速器、半導(dǎo)體工藝、空間模擬、真空冶金等高真空和超高真空系統(tǒng)。 |
