RBF-181 電阻電離復合真空變送器（皮拉尼冷陰極真空計）
上海雙旭 RBF-181 電阻電離復合真空變送器（皮拉尼冷陰極真空計）介紹
產品概述：RBF-181 為上海雙旭電子有限公司研制的電阻電離復合式真空測量儀器，集成皮拉尼熱導與冷陰極離子化兩種測量原理，可在寬量程范圍內實現(xiàn)高精度真空度檢測，適用于科研、半導體、鍍膜、真空爐及分析儀器等場景。
產品參數(shù)
- 測量原理：皮拉尼熱導 + 冷陰極（潘寧放電）復合式
- 測量范圍：1×105 Pa ~ 1×10-8 Pa（連續(xù)覆蓋）
- 分 辨 率：≤0.01 Pa（高真空段可達 1×10-9 Pa 顯示分辨率）
- 精 度：±15%（皮拉尼段），±30%（冷陰極段，取決于氣體種類）
- 響應時間：≤1 s（皮拉尼段），≤2 s（冷陰極段切換）
- 工作溫度：0℃ ~ 50℃
- 存儲溫度：-20℃ ~ 70℃
- 供電電壓：DC 24 V ±10%，功耗 ≤5 W
- 輸出信號：模擬 0~10 V / 4~20 mA（可選），RS485/Modbus（可選）
- 探頭耐溫：≤100℃（傳感器部分）
- 耐壓能力：≤2000 Pa（瞬間），連續(xù)運行≤1500 Pa
- 氣體兼容性：空氣、N2、O2、Ar、He 等，特殊氣體需校準
- 安裝接口：CF16 / KF16 / DN16（可定制）
- 重量：約 250 g（不含電纜）
功能特點
采用雙原理自動切換技術，低真空由皮拉尼快速響應，進入中高真空后自動切入冷陰極提高靈敏度；內置溫度補償和防污染算法，提升長期穩(wěn)定性；結構緊湊，法蘭兼容主流真空系統(tǒng)，適配多種工業(yè)總線與模擬控制系統(tǒng)。
使用注意事項
- 安裝前確認法蘭規(guī)格與系統(tǒng)匹配，避免漏氣；安裝時保持探頭垂直或按說明書指定方向，防止熱偶絲與陰極受機械應力。
- 通電前確保真空腔體壓力在測量范圍內，禁止在高壓強（＞1×105 Pa）下直接啟動冷陰極，以防陰極損壞。
- 首次使用或長時間停用后，需在進氣過程中逐步降壓，避免壓差沖擊損壞皮拉尼元件。
- 冷陰極對油污、粉塵、水汽敏感，高污染環(huán)境應先加防護或定期清潔/更換探頭。
- 不同氣體類型會影響冷陰極校準系數(shù)，測非標氣體需重新標定或使用修正系數(shù)。
- 避免探頭暴露于超過 100℃ 的熱源或機械振動環(huán)境，防止內部結構位移影響精度。
- 模擬輸出型注意負載阻抗匹配，RS485 通信需設正確波特率及地址，防止通訊異常。
- 定期（建議每 6~12 個月）進行零點與量程檢查，必要時返廠或經培訓人員校準。
- 斷電前若系統(tǒng)為高真空，應避免快速進氣至大氣壓，應緩慢破空以防熱脹冷縮損傷元件。
RBF-181 電阻電離復合真空變送器（皮拉尼冷陰極真空計）
上海雙旭RBF-181 電阻電離復合真空變送器（皮拉尼冷陰極真空計）使用說明
RBF-181是一款集皮拉尼電阻傳感器與冷陰極電離傳感器于一體的復合真空變送器，用于測量1×10⁻⁵至1.0×10⁵ Pa的寬范圍真空度。安裝時，確保變送器垂直或水平安裝，避免振動和高溫環(huán)境。連接電源（建議24V DC，需符合規(guī)格），并通過RS485或模擬輸出接口（0-10V或4-20mA）對接PLC或上位機。啟動前，檢查系統(tǒng)密封性；冷陰極部分需注意高電壓安全（通常啟動電壓2000V以上）。使用期間，定期清潔陰極板及電阻絲，防止污染影響精度。更換或維修時，必須斷電并放空真空室。
主要優(yōu)點
1. 寬量程高精度：電阻與冷陰極復合測量，覆蓋大氣壓到高真空，無需更換傳感器。2. 耐腐蝕設計：冷陰極無熱絲，適合氧氣、腐蝕性氣體環(huán)境，壽命長。3. 快速響應：電離部分啟動迅速，測量延遲小于1秒。4. 抗污染：皮拉尼段自動溫度補償，減少油污或沉積物影響。5. 數(shù)字通信：支持Modbus RTU或多路模擬輸出，集成方便。6. 緊湊堅固：全金屬外殼，適合工業(yè)真空系統(tǒng)或實驗室使用。 |
