ZDR-10B 熱陰極電離真空計
上海雙旭ZDR-10B熱陰極電離真空計
一、核心產(chǎn)品參數(shù)
ZDR-10B熱陰極電離真空計是一款用于高真空測量的專業(yè)儀器，核心參數(shù)如下：
- 測量范圍: 1×10⁻¹ ~ 5×10⁻⁶ Pa，覆蓋高真空至超高真空區(qū)間，滿足工業(yè)生產(chǎn)、科研實驗等多場景真空度檢測需求。
- 顯示方式: 采用三位半數(shù)字顯示，真空度數(shù)值直觀清晰，支持單位自動切換，無需人工換算。
- 陰極類型: 選用抗氧化熱陰極材料，具備更長的使用壽命，在復(fù)雜真空環(huán)境下仍能保持穩(wěn)定的發(fā)射性能。
- 供電要求: AC 220V±10%，50Hz，適配常規(guī)工業(yè)及實驗室供電環(huán)境，開機后預(yù)熱時間約15分鐘即可進入穩(wěn)定工作狀態(tài)。
- 輸出功能: 配備0~10V模擬信號輸出，可與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、真空控制系統(tǒng)聯(lián)動，實現(xiàn)遠程監(jiān)控與自動化調(diào)節(jié)。
- 外形尺寸: 主機尺寸約280×200×100mm，傳感器探頭小巧便攜，可靈活安裝于各類真空腔體接口。
二、產(chǎn)品特點
作為一款成熟的真空測量設(shè)備，ZDR-10B兼顧實用性與穩(wěn)定性：
其一，具備過壓保護與陰極過載保護功能，當(dāng)真空度低于測量下限（高于1×10⁻¹ Pa）時，儀器自動切斷陰極供電，防止陰極因氧化燒毀；其二，校準(zhǔn)方式簡單，支持現(xiàn)場手動校準(zhǔn)與標(biāo)準(zhǔn)真空源校準(zhǔn)，確保長期使用的測量精度；其三，整機結(jié)構(gòu)緊湊，主機操作面板布局簡潔，僅需通過少量按鍵即可完成量程切換、零點校準(zhǔn)等操作，上手難度低。
三、使用注意事項
為保證儀器測量精度與使用壽命，使用過程中需重點關(guān)注以下事項：
1. 開機與預(yù)熱規(guī)范: 開機前需確認(rèn)真空系統(tǒng)已達到預(yù)真空狀態(tài)（真空度不低于1Pa），嚴(yán)禁在大氣壓下開啟陰極供電，否則會直接燒毀熱陰極；開機后必須完成15~20分鐘預(yù)熱，待儀器顯示穩(wěn)定后再進行讀數(shù)，避免預(yù)熱不充分導(dǎo)致的測量誤差。
2. 環(huán)境與安裝要求: 主機應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)、無腐蝕性氣體的環(huán)境中，避免高溫（＞40℃）、強電磁干擾（如大型電機、高頻設(shè)備）影響測量精度；傳感器探頭需垂直或水平安裝于真空腔體，探頭與腔體的連接部位需確保密封良好，防止漏氣影響真空度與測量結(jié)果。
3. 維護與保養(yǎng): 定期檢查傳感器探頭的清潔度，若發(fā)現(xiàn)探頭內(nèi)部有油污、灰塵沉積，需斷電后用無水乙醇浸泡清洗并烘干；長期停用前，需先關(guān)閉儀器電源，待真空系統(tǒng)保持低真空狀態(tài)（＜1Pa）后再關(guān)閉真空機組，避免外界空氣快速進入腔體污染探頭。
4. 故障排查要點: 若儀器顯示“超量程”，需先檢查真空系統(tǒng)是否正常抽氣，確認(rèn)真空度是否低于測量上限；若出現(xiàn)數(shù)值跳動不穩(wěn)定，可排查探頭連接線纜是否松動、真空腔體是否存在漏氣點，或嘗試重新校準(zhǔn)零點。
四、適用場景
ZDR-10B廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理、空間模擬實驗等領(lǐng)域，可精準(zhǔn)監(jiān)控真空腔體內(nèi)部的真空度變化，為真空工藝的穩(wěn)定性提供數(shù)據(jù)支撐，是工業(yè)生產(chǎn)與科研實驗中可靠的真空測量工具。 |
