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| 產(chǎn)品詳細(xì) |
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| 產(chǎn)品名稱: |
CF35 真空規(guī)管法蘭接口 |
| 產(chǎn)品型號(hào): |
shaungxu |
| 產(chǎn)品報(bào)價(jià): |
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產(chǎn)品詳細(xì):
CF35 真空規(guī)管法蘭接口
上海雙旭 CF35 真空規(guī)管法蘭接口介紹
產(chǎn)品參數(shù):
- 型號(hào):CF35(ConFlat 法蘭規(guī)格)
- 法蘭標(biāo)準(zhǔn):符合 ISO 2861 / ConFlat 標(biāo)準(zhǔn),公稱外徑 70 mm,螺栓孔分布圓直徑 54 mm
- 法蘭材質(zhì):通常為 304 不銹鋼(可選 316L 不銹鋼)
- 密封方式:銅墊圈或氟橡膠 O 型圈(依據(jù)真空度需求選用)
- 適用真空范圍:10⁻⁵ Pa ~ 10⁵ Pa(取決于規(guī)管類型及密封配置)
- 規(guī)管兼容類型:熱陰極電離規(guī)、冷陰極磁控規(guī)、皮拉尼計(jì)等常用真空測(cè)量規(guī)管
- 接口形式:法蘭面平口焊接或?qū)高B接,適配 CF35 法蘭腔體或管路
- 耐溫性能:-20℃ ~ +150℃(常規(guī)工況),高溫版本可達(dá) 200℃
- 泄漏率:≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s(裝配合格條件下)
- 安裝螺栓:M8 內(nèi)六角螺栓,數(shù)量 6 枚,推薦扭矩 4~6 N·m
結(jié)構(gòu)與功能概述:
CF35 真空規(guī)管法蘭接口為超高真空與高真空系統(tǒng)常用的標(biāo)準(zhǔn)化連接件,采用金屬密封原理,保證系統(tǒng)在寬壓力范圍內(nèi)的氣密性。法蘭與規(guī)管本體通過(guò)焊接或螺紋轉(zhuǎn)接固定,法蘭面平整度高,可重復(fù)使用且保持良好密封性能。該接口便于在真空腔體、泵組、閥門之間快速拆裝規(guī)管,利于維護(hù)與校準(zhǔn)。
使用注意事項(xiàng):
- 安裝前檢查法蘭面與密封墊圈無(wú)劃痕、凹陷或污染,必要時(shí)用無(wú)水乙醇或丙酮清潔并干燥。
- 密封墊圈選型須匹配真空度要求:銅墊圈適用于超高真空(≤10⁻⁷ Pa),氟橡膠適用于高真空及中真空。
- 螺栓緊固應(yīng)按對(duì)角順序均勻加力,避免單側(cè)過(guò)緊導(dǎo)致法蘭變形;扭矩過(guò)大可能損傷密封面。
- 規(guī)管插入法蘭前確認(rèn)電氣接頭絕緣與真空密封均完好,防止烘烤或運(yùn)行中泄漏。
- 在烘烤系統(tǒng)時(shí),需確認(rèn)密封材料耐溫范圍,銅墊圈可在 450℃以下烘烤,氟橡膠應(yīng)在 ≤150℃使用。
- 拆卸時(shí)避免硬撬法蘭,以免損傷面型精度;建議保留原配墊圈用于重復(fù)使用時(shí)評(píng)估狀態(tài)。
- 規(guī)管更換或長(zhǎng)期停用后復(fù)裝,應(yīng)進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏驗(yàn)證接口泄漏率合格后方可投入使用。
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