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ZJ-14C 高真空規(guī)管(潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī)) 
產(chǎn)品名稱: ZJ-14C 高真空規(guī)管(潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī))
產(chǎn)品型號: shaungxu
產(chǎn)品報價:
 
   
 產(chǎn)品詳細:

ZJ-14C 高真空規(guī)管(潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī))

 

產(chǎn)品概述

上海雙旭ZJ-14C高真空規(guī)管屬于冷陰極電離規(guī)(潘寧規(guī))范疇,是一款專門用于高真空、超高真空環(huán)境測量的核心傳感元件。它利用冷陰極放電電離原理,通過檢測真空環(huán)境中氣體電離產(chǎn)生的離子電流來換算真空度,具備無需加熱陰極、抗污染能力強、壽命長等優(yōu)勢,廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空冶煉、空間模擬等工業(yè)及科研領(lǐng)域的真空系統(tǒng)監(jiān)測。

核心技術(shù)參數(shù)

參數(shù)類別 具體參數(shù)
測量范圍 1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁹ Pa
規(guī)管結(jié)構(gòu) 雙圓柱冷陰極結(jié)構(gòu),內(nèi)置陽極、陰極及磁場組件
工作電壓 直流高壓2000V±100V(需搭配專用ZJ-14C規(guī)管電源使用)
工作磁場 永久磁鐵提供,磁場強度約0.12T
離子電流范圍 1×10⁻¹² ~ 1×10⁻⁴ A(對應(yīng)測量真空度區(qū)間)
規(guī)管接口 KF16快裝法蘭(可根據(jù)需求定制其他接口形式)
工作環(huán)境溫度 -10℃ ~ +50℃
存儲環(huán)境溫度 -20℃ ~ +60℃
規(guī)管外形尺寸 主體直徑φ40mm,總長度約180mm(不含接口)
使用壽命 正常工作條件下≥10000小時

使用注意事項

安裝環(huán)節(jié)

  • 規(guī)管需垂直安裝,避免因水平放置導(dǎo)致規(guī)管內(nèi)部電極積塵或污染,影響測量精度;
  • 安裝前需清潔真空系統(tǒng)及規(guī)管接口,避免灰塵、油污進入規(guī)管內(nèi)部;安裝時需使用專用密封圈(如氟橡膠圈),并確保接口密封良好,防止漏氣;
  • 規(guī)管應(yīng)遠離真空系統(tǒng)中的放氣源、高溫區(qū)及強磁場干擾源,安裝位置需保證氣體流通順暢,避免測量死角。

操作使用

  • 規(guī)管必須搭配上海雙旭配套的ZJ-14C規(guī)管電源使用,嚴禁私自搭配其他型號電源,防止因電壓、電流不匹配損壞規(guī)管;
  • 啟動測量前,需確認真空系統(tǒng)已抽到預(yù)真空(建議≤1Pa),再開啟規(guī)管電源,避免規(guī)管在低真空(大氣或粗真空)下長時間放電,導(dǎo)致電極污染;
  • 若真空系統(tǒng)暴露大氣后,需重新抽真空至預(yù)真空狀態(tài),穩(wěn)定10~15分鐘后再開啟規(guī)管測量,防止大氣中的水汽、灰塵污染規(guī)管內(nèi)部電極;
  • 長期停用真空系統(tǒng)時,需先關(guān)閉規(guī)管電源,再關(guān)閉真空機組,避免規(guī)管在非真空狀態(tài)下閑置。

維護與保養(yǎng)

  • 定期檢查規(guī)管外觀及接口密封情況,若發(fā)現(xiàn)接口松動、密封圈老化需及時處理;
  • 若規(guī)管出現(xiàn)測量值漂移、離子電流異常等情況,可在確保真空系統(tǒng)清潔的前提下,對規(guī)管進行"反電解清潔"(需在專業(yè)人員指導(dǎo)下操作,通過反向電壓清除電極表面輕度污染);
  • 避免規(guī)管受到機械碰撞、摔落,防止內(nèi)部電極或磁鐵移位,損壞規(guī)管結(jié)構(gòu);
  • 規(guī)管需存放在干燥、通風(fēng)、無腐蝕性氣體的環(huán)境中,避免長期暴露在高濕度、高污染環(huán)境下。
特別提示:當規(guī)管出現(xiàn)測量值嚴重偏離真空系統(tǒng)實際工況,或無法產(chǎn)生穩(wěn)定離子電流時,需及時更換規(guī)管,更換前需對真空系統(tǒng)進行徹底清潔,避免新規(guī)管二次污染。

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 無熱陰極設(shè)計:無需加熱陰極組件,不會因陰極氧化、蒸發(fā)導(dǎo)致污染,在高污染真空環(huán)境中仍能穩(wěn)定工作;
  • 抗污染能力強:冷陰極結(jié)構(gòu)對油蒸汽、粉塵等污染物的耐受性遠高于熱陰極規(guī)管,適合復(fù)雜工況的真空測量;
  • 長壽命特性:避免了熱陰極的損耗問題,正常使用條件下壽命可達數(shù)萬小時,降低設(shè)備維護成本;
  • 穩(wěn)定性優(yōu)異:內(nèi)置永久磁鐵提供穩(wěn)定磁場,配合優(yōu)化的電極結(jié)構(gòu),測量數(shù)據(jù)重復(fù)性好,漂移小。
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