ZJ-14C 高真空規(guī)管（潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī)）
產品概述
上海雙旭ZJ-14C高真空規(guī)管屬于冷陰極電離規(guī)（潘寧規(guī)）范疇，是一款專門用于高真空、超高真空環(huán)境測量的核心傳感元件。它利用冷陰極放電電離原理，通過檢測真空環(huán)境中氣體電離產生的離子電流來換算真空度，具備無需加熱陰極、抗污染能力強、壽命長等優(yōu)勢，廣泛應用于真空鍍膜、半導體制造、真空冶煉、空間模擬等工業(yè)及科研領域的真空系統(tǒng)監(jiān)測。
核心技術參數
| 參數類別 |
具體參數 |
| 測量范圍 |
1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁹ Pa |
| 規(guī)管結構 |
雙圓柱冷陰極結構，內置陽極、陰極及磁場組件 |
| 工作電壓 |
直流高壓2000V±100V（需搭配專用ZJ-14C規(guī)管電源使用） |
| 工作磁場 |
永久磁鐵提供，磁場強度約0.12T |
| 離子電流范圍 |
1×10⁻¹² ~ 1×10⁻⁴ A（對應測量真空度區(qū)間） |
| 規(guī)管接口 |
KF16快裝法蘭（可根據需求定制其他接口形式） |
| 工作環(huán)境溫度 |
-10℃ ~ +50℃ |
| 存儲環(huán)境溫度 |
-20℃ ~ +60℃ |
| 規(guī)管外形尺寸 |
主體直徑φ40mm，總長度約180mm（不含接口） |
| 使用壽命 |
正常工作條件下≥10000小時 |
使用注意事項
安裝環(huán)節(jié)
- 規(guī)管需垂直安裝，避免因水平放置導致規(guī)管內部電極積塵或污染，影響測量精度；
- 安裝前需清潔真空系統(tǒng)及規(guī)管接口，避免灰塵、油污進入規(guī)管內部；安裝時需使用專用密封圈（如氟橡膠圈），并確保接口密封良好，防止漏氣；
- 規(guī)管應遠離真空系統(tǒng)中的放氣源、高溫區(qū)及強磁場干擾源，安裝位置需保證氣體流通順暢，避免測量死角。
操作使用
- 規(guī)管必須搭配上海雙旭配套的ZJ-14C規(guī)管電源使用，嚴禁私自搭配其他型號電源，防止因電壓、電流不匹配損壞規(guī)管；
- 啟動測量前，需確認真空系統(tǒng)已抽到預真空（建議≤1Pa），再開啟規(guī)管電源，避免規(guī)管在低真空（大氣或粗真空）下長時間放電，導致電極污染；
- 若真空系統(tǒng)暴露大氣后，需重新抽真空至預真空狀態(tài)，穩(wěn)定10~15分鐘后再開啟規(guī)管測量，防止大氣中的水汽、灰塵污染規(guī)管內部電極；
- 長期停用真空系統(tǒng)時，需先關閉規(guī)管電源，再關閉真空機組，避免規(guī)管在非真空狀態(tài)下閑置。
維護與保養(yǎng)
- 定期檢查規(guī)管外觀及接口密封情況，若發(fā)現接口松動、密封圈老化需及時處理；
- 若規(guī)管出現測量值漂移、離子電流異常等情況，可在確保真空系統(tǒng)清潔的前提下，對規(guī)管進行"反電解清潔"（需在專業(yè)人員指導下操作，通過反向電壓清除電極表面輕度污染）；
- 避免規(guī)管受到機械碰撞、摔落，防止內部電極或磁鐵移位，損壞規(guī)管結構；
- 規(guī)管需存放在干燥、通風、無腐蝕性氣體的環(huán)境中，避免長期暴露在高濕度、高污染環(huán)境下。
特別提示：當規(guī)管出現測量值嚴重偏離真空系統(tǒng)實際工況，或無法產生穩(wěn)定離子電流時，需及時更換規(guī)管，更換前需對真空系統(tǒng)進行徹底清潔，避免新規(guī)管二次污染。
產品優(yōu)勢
- 無熱陰極設計：無需加熱陰極組件，不會因陰極氧化、蒸發(fā)導致污染，在高污染真空環(huán)境中仍能穩(wěn)定工作；
- 抗污染能力強：冷陰極結構對油蒸汽、粉塵等污染物的耐受性遠高于熱陰極規(guī)管，適合復雜工況的真空測量；
- 長壽命特性：避免了熱陰極的損耗問題，正常使用條件下壽命可達數萬小時，降低設備維護成本；
- 穩(wěn)定性優(yōu)異：內置永久磁鐵提供穩(wěn)定磁場，配合優(yōu)化的電極結構，測量數據重復性好，漂移小。
ZJ-14C 高真空規(guī)管（潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī)）
上海雙旭ZJ-14C高真空規(guī)管（潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī)）產品使用說明
一、產品概述
上海雙旭ZJ-14C高真空規(guī)管屬于冷陰極電離規(guī)（潘寧規(guī)）范疇，主要用于高真空環(huán)境下的壓強測量，可精準檢測10⁻¹～10⁻⁷Pa范圍內的真空度，廣泛應用于真空鍍膜、半導體制造、真空熱處理、空間模擬等工業(yè)及科研領域。
二、安裝步驟
1. 安裝前請確保真空系統(tǒng)處于大氣狀態(tài)，規(guī)管及連接部位無雜質、油污，避免污染真空環(huán)境。
2. 規(guī)管采用CF法蘭接口，安裝時需在法蘭密封面放置合格的金屬墊片，使用專用工具均勻擰緊法蘭螺栓，保證密封性能，防止漏氣影響測量精度。
3. 規(guī)管的電氣連接需嚴格按照接線說明操作，區(qū)分高壓、信號及接地線，避免接反或短路，連接完成后檢查接線牢固性。
三、操作使用
1. 接通規(guī)管電源前，需確認真空系統(tǒng)已達到預真空狀態(tài)（通常壓強低于1Pa），防止規(guī)管在高氣壓下啟動導致陰極損壞。
2. 打開配套電源設備，設置合適的工作參數，規(guī)管啟動后需預熱15～30分鐘，待輸出信號穩(wěn)定后開始讀取真空度數值。
3. 測量過程中需實時觀察真空度變化，若出現數值異常波動，需檢查真空系統(tǒng)密封性、規(guī)管接線狀態(tài)及電源設備是否正常。
4. 停止使用時，先關閉規(guī)管電源，待真空系統(tǒng)恢復至大氣狀態(tài)后，再進行后續(xù)維護或拆卸操作。
四、維護與注意事項
1. 定期檢查規(guī)管密封接口，若發(fā)現墊片老化或密封不良，及時更換墊片并重新密封。
2. 規(guī)管長期使用后，內部可能會沉積污染物，影響測量精度，可在專業(yè)人員指導下進行清洗處理，清洗后需充分烘干再投入使用。
3. 避免規(guī)管受到劇烈碰撞或振動，防止內部結構損壞；存放時需置于干燥、通風環(huán)境，避免接觸腐蝕性氣體。
4. 嚴禁在規(guī)管未接入真空系統(tǒng)時通電，防止高壓放電損壞規(guī)管組件。
上海雙旭ZJ-14C高真空規(guī)管產品優(yōu)點
1. 寬量程高精度：可覆蓋10⁻¹～10⁻⁷Pa的寬真空度范圍，測量精度高，能穩(wěn)定輸出準確的壓強數值，滿足高真空環(huán)境的精準檢測需求。
2. 冷陰極設計優(yōu)勢：采用冷陰極電離原理，無需加熱陰極，避免了熱陰極規(guī)管因高溫導致的陰極損耗，大大延長了規(guī)管的使用壽命，降低了維護成本。
3. 穩(wěn)定性強：在復雜真空環(huán)境中，規(guī)管輸出信號穩(wěn)定，抗干擾能力強，不易受環(huán)境溫度、氣體成分變化的影響，確保測量數據的可靠性。
4. 安裝維護便捷：標準化CF法蘭接口適配多數真空系統(tǒng)，安裝操作簡單；日常維護僅需定期檢查密封狀態(tài)，維護成本低，減少停機時間。
5. 適配性廣泛：可與多種真空測量控制設備配套使用，兼容不同類型的真空系統(tǒng)，適用于真空鍍膜、半導體制造、科研實驗等多個領域，具有較強的通用性。 |
