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上海雙旭TG-103氣浮試驗(yàn)設(shè)備產(chǎn)品介紹

生產(chǎn)廠家：上海雙旭電子有限公司

設(shè)備型號：TG-103

產(chǎn)品參數(shù)

• 工作臺尺寸：通常為定制，常見規(guī)格如1000mm×1000mm
• 氣浮平臺精度：平面度可達(dá)±0.01mm/m²
• 空氣軸承類型：多孔節(jié)流靜壓空氣軸承
• 供氣壓力：0.4~0.6MPa
• 承載能力：根據(jù)臺面尺寸，典型值500kg~2000kg
• 漂浮高度：約5~15μm
• 摩擦系數(shù)：極低，通常小于0.001
• 材質(zhì)：臺面通常為花崗巖或高強(qiáng)度鋁合金
• 配套系統(tǒng)：包括空氣過濾系統(tǒng)、穩(wěn)壓系統(tǒng)、氣路控制單元

使用注意事項(xiàng)

• 氣源要求：必須使用干燥、無油、潔凈的壓縮空氣，前端需配備精密過濾器。
• 平臺保護(hù)：嚴(yán)禁在臺面上進(jìn)行敲擊、刮擦或放置尖銳物品，防止損傷精密表面。
• 啟動順序：先開啟氣源，待氣壓穩(wěn)定后再放置工件；關(guān)閉時先卸下工件，再關(guān)閉氣源。
• 負(fù)載分布：工件放置應(yīng)確保負(fù)載均勻，嚴(yán)禁超載或偏載，以免影響氣膜均勻性和平臺精度。
• 環(huán)境清潔：工作環(huán)境需保持清潔，避免灰塵、顆粒物進(jìn)入氣浮軸承孔隙造成堵塞。
• 定期維護(hù)：定期檢查氣路密封性，清潔或更換過濾器濾芯，確保氣源質(zhì)量。
• 防震措施：設(shè)備應(yīng)安裝在穩(wěn)固、防震的基礎(chǔ)上，遠(yuǎn)離大型振動源。
• 培訓(xùn)操作：操作人員需經(jīng)過專業(yè)培訓(xùn)，熟悉設(shè)備特性和操作規(guī)程。

廠家簡介

上海雙旭電子有限公司專注于高精度氣浮技術(shù)產(chǎn)品的研發(fā)與制造，其氣浮平臺、氣浮轉(zhuǎn)臺等產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于精密測量、光學(xué)檢測、半導(dǎo)體制造及航空航天等領(lǐng)域。公司以穩(wěn)定性高、精度保持性好著稱。