ZDM-2 電容薄膜真空計
上海雙旭 ZDM-2 電容薄膜真空計
產品概述
ZDM-2 為上海雙旭電子有限公司研制的電容薄膜式真空計，基于金屬薄膜在真空中受壓力變形引起電容變化的原理工作。適用于高、中、低真空范圍的精確測量，廣泛用于科研實驗、半導體制造、真空鍍膜、真空熱處理及分析儀器配套。
產品參數
- 測量范圍：1×10⁵ Pa ~ 1×10⁻⁴ Pa（1000 mbar ~ 1×10⁻⁶ mbar）
- 精度等級：±1.5% FS（滿量程）
- 分辨率：1×10⁻⁴ Pa（在 1×10⁻¹ Pa 附近可達更高分辨）
- 響應時間：≤ 500 ms（典型值，隨氣體種類略有差異）
- 工作溫度：+5℃ ~ +50℃
- 存儲溫度：-20℃ ~ +70℃
- 供電電壓：DC 24V ±10%
- 輸出信號：4~20 mA（兩線制）、0~10 V（可選三線制）
- 電氣連接：標準 M12 航空插頭或端子排
- 傳感器材質：316L 不銹鋼、陶瓷/石英薄膜
- 防護等級：IP65（傳感器探頭部分）
- 耐壓能力：最大 200 kPa（絕對壓力過載）
- 重復性：≤ ±0.5% FS
- 零點漂移：≤ ±0.5% FS / 年
- 安裝方式：法蘭式（KF16/KF25/CF等）、螺紋接口可選
工作原理
采用單電容或差分電容結構，金屬薄膜作為可動電極，與固定電極構成可變電容器。當真空度變化時，薄膜受氣體壓力作用產生位移，導致電容值線性變化，經電路轉換為標準電流/電壓信號輸出。該結構對氣體成分依賴性小，適合多種工況。
使用注意事項
- 安裝前確認真空系統(tǒng)清潔，避免顆粒或油污污染傳感器薄膜，否則會導致靈敏度下降或永久損壞。
- 禁止在高壓氣體沖擊或爆炸性氣體環(huán)境下直接使用，需加裝安全隔離裝置。
- 開機前確保供電電壓穩(wěn)定，防止過壓或反接燒毀變送器電路。
- 傳感器不可暴露于大氣突曝環(huán)境（從超高真空瞬間到大氣壓），應緩慢調壓，防止薄膜因壓差過大變形失效。
- 測量腐蝕性氣體或含冷凝成分的介質時，應選用耐腐型號或進行特殊防護處理，否則會腐蝕薄膜及電極。
- 定期校準（建議每 12 個月一次）以保證精度，校準應在標準真空基準下進行。
- 電纜布線應遠離強電磁干擾源，屏蔽層單端接地，避免信號漂移或噪聲疊加。
- 拆卸探頭時須先對系統(tǒng)進行卸壓至常壓，嚴禁帶壓操作。
- 長期存放應保持干燥，傳感器端口用保護帽密封，防止潮氣及灰塵進入。
- 若輸出信號異�；驘o響應，應先檢查供電與接線，再排查傳感器是否受損，必要時返廠維修。
適用領域
科研真空系統(tǒng)、半導體工藝腔體、真空鍍膜設備、真空冷凍干燥、質譜儀、電子束焊接機、空間模擬艙、工業(yè)爐真空監(jiān)控等。 |
