ZDM-2 電容薄膜真空計
上海雙旭 ZDM-2 電容薄膜真空計
產品概述
ZDM-2 為上海雙旭電子有限公司研制的電容薄膜式真空計,基于金屬薄膜在真空中受壓力變形引起電容變化的原理工作。適用于高、中、低真空范圍的精確測量,廣泛用于科研實驗、半導體制造、真空鍍膜、真空熱處理及分析儀器配套。
產品參數
- 測量范圍:1×10⁵ Pa ~ 1×10⁻⁴ Pa(1000 mbar ~ 1×10⁻⁶ mbar)
- 精度等級:±1.5% FS(滿量程)
- 分辨率:1×10⁻⁴ Pa(在 1×10⁻¹ Pa 附近可達更高分辨)
- 響應時間:≤ 500 ms(典型值,隨氣體種類略有差異)
- 工作溫度:+5℃ ~ +50℃
- 存儲溫度:-20℃ ~ +70℃
- 供電電壓:DC 24V ±10%
- 輸出信號:4~20 mA(兩線制)、0~10 V(可選三線制)
- 電氣連接:標準 M12 航空插頭或端子排
- 傳感器材質:316L 不銹鋼、陶瓷/石英薄膜
- 防護等級:IP65(傳感器探頭部分)
- 耐壓能力:最大 200 kPa(絕對壓力過載)
- 重復性:≤ ±0.5% FS
- 零點漂移:≤ ±0.5% FS / 年
- 安裝方式:法蘭式(KF16/KF25/CF等)、螺紋接口可選
工作原理
采用單電容或差分電容結構,金屬薄膜作為可動電極,與固定電極構成可變電容器。當真空度變化時,薄膜受氣體壓力作用產生位移,導致電容值線性變化,經電路轉換為標準電流/電壓信號輸出。該結構對氣體成分依賴性小,適合多種工況。
使用注意事項
- 安裝前確認真空系統(tǒng)清潔,避免顆粒或油污污染傳感器薄膜,否則會導致靈敏度下降或永久損壞。
- 禁止在高壓氣體沖擊或爆炸性氣體環(huán)境下直接使用,需加裝安全隔離裝置。
- 開機前確保供電電壓穩(wěn)定,防止過壓或反接燒毀變送器電路。
- 傳感器不可暴露于大氣突曝環(huán)境(從超高真空瞬間到大氣壓),應緩慢調壓,防止薄膜因壓差過大變形失效。
- 測量腐蝕性氣體或含冷凝成分的介質時,應選用耐腐型號或進行特殊防護處理,否則會腐蝕薄膜及電極。
- 定期校準(建議每 12 個月一次)以保證精度,校準應在標準真空基準下進行。
- 電纜布線應遠離強電磁干擾源,屏蔽層單端接地,避免信號漂移或噪聲疊加。
- 拆卸探頭時須先對系統(tǒng)進行卸壓至常壓,嚴禁帶壓操作。
- 長期存放應保持干燥,傳感器端口用保護帽密封,防止潮氣及灰塵進入。
- 若輸出信號異;驘o響應,應先檢查供電與接線,再排查傳感器是否受損,必要時返廠維修。
適用領域
科研真空系統(tǒng)、半導體工藝腔體、真空鍍膜設備、真空冷凍干燥、質譜儀、電子束焊接機、空間模擬艙、工業(yè)爐真空監(jiān)控等。 |