ZDZ-52M 微機型電阻真空計（皮拉尼/二路測量）
上海雙旭ZDZ-52M 微機型電阻真空計（皮拉尼/二路測量）介紹
產品概述
ZDZ-52M為微機型電阻真空計，采用皮拉尼原理結合二路獨立測量通道，可同時監(jiān)測兩路不同位置或范圍的真空度。適用于低至中真空范圍的連續(xù)測量與控制，廣泛用于真空爐、鍍膜設備、半導體制造、科研實驗等領域。
產品參數(shù)
- 測量原理：皮拉尼熱導式（雙路獨立傳感器）
- 測量范圍：1×105 Pa ~ 1×10-1 Pa（雙路可根據(jù)配置獨立設定量程）
- 顯示分辨率：0.01 Pa（低量程段），1 Pa（高量程段）
- 精度：±15% F.S.（恒溫條件下）
- 響應時間：≤3 s（典型值，取決于氣體種類與真空變化速率）
- 工作溫度：+5℃ ~ +40℃（主機）；傳感器 -20℃ ~ +100℃
- 供電電源：AC 220V ±10%，50Hz / 60Hz，功耗 ≤15W
- 顯示方式：4位LED數(shù)碼管雙路同步顯示，支持切換顯示單路或雙路數(shù)值
- 輸出接口：模擬量 0~5V/4~20mA（每路獨立輸出），RS485（Modbus RTU協(xié)議）
- 控制功能：雙路獨立上下限報警，繼電器觸點容量 AC250V/3A（無感負載）
- 傳感器材質：不銹鋼鎧裝，耐腐蝕，適配多種工藝氣體
- 外形尺寸：主機 96(W)×96(H)×110(D) mm（標準面板開孔92×92mm）
- 重量：約0.8 kg
使用注意事項
- 安裝位置應避開強電磁干擾源及機械振動，確保通風良好，避免高溫輻射直接影響傳感器。
- 傳感器需在清潔環(huán)境下連接，防止油污、粉塵進入影響熱導特性；禁止用手直接接觸傳感器敏感部位。
- 首次使用或更換傳感器前須進行零點校準，按說明書在已知大氣壓下執(zhí)行調零操作。
- 不同氣體熱導率差異大，測量非空氣類氣體需重新標定或修正系數(shù)，否則讀數(shù)偏差顯著。
- 嚴禁在傳感器未冷卻狀態(tài)下接觸或移動，防止熱絲損壞；高溫工藝環(huán)境應先確認傳感器耐溫等級。
- 模擬輸出及通訊接口接線須匹配負載阻抗，避免短路或過載損壞電路。
- 繼電器報警觸點不得用于直接驅動大功率負載，應加中間繼電器隔離。
- 長期停用應斷開電源，傳感器密封保存，防止潮氣侵入導致零點漂移。
- 清潔維護僅可用干燥壓縮空氣輕吹，嚴禁液體或腐蝕性溶劑擦拭。
- 若測量范圍跨越多個數(shù)量級，應合理設置報警閾值與采樣濾波參數(shù)，避免頻繁誤報。
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