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上海雙旭DH2004型多功能微波等離子體實驗裝置

型號：DH2004

品牌：上海雙旭

產(chǎn)品參數(shù)

• 微波頻率：2450MHz ± 50MHz
• 微波功率：0-1000W連續(xù)可調(diào)
• 電源輸入：AC220V ± 10%，50/60Hz
• 反應腔尺寸：石英管，典型直徑Φ50-100mm（可定制）
• 真空系統(tǒng)：機械泵，極限真空度≤10Pa
• 氣體控制系統(tǒng)：質(zhì)量流量計控制，1-3路氣路可選
• 冷卻方式：水冷（需外接冷卻水源）
• 主要應用：等離子體清洗、材料表面改性、薄膜沉積、納米材料合成、光譜分析等基礎科研實驗。

使用注意事項

• 高壓警示：裝置內(nèi)含高壓部件，非專業(yè)人員嚴禁打開機箱，通電狀態(tài)下禁止觸摸內(nèi)部電路。
• 微波輻射：裝置運行時會產(chǎn)生微波輻射，必須確保反應腔門關閉嚴密，嚴禁在防護門開啟狀態(tài)下啟動微波功率。
• 冷卻保障：啟動前務必確認冷卻水循環(huán)系統(tǒng)已正常開啟并水流暢通，防止微波源過熱損壞。
• 真空操作：遵循正確的真空操作流程，先抽真空再通入工藝氣體，關機前需將反應腔恢復至常壓。
• 氣體安全：使用易燃、有毒或腐蝕性氣體時，必須確保氣路密封良好，并配備相應的尾氣處理裝置，實驗環(huán)境需保持通風。
• 維護保養(yǎng)：定期檢查微波窗口（石英管）的清潔度與完好性，避免污染物影響等離子體激發(fā)效率或?qū)е戮植窟^熱。
• 專業(yè)操作：建議操作人員具備基本的等離子體物理知識，并嚴格遵循設備操作規(guī)程。