冷陰極無(wú)燈絲設(shè)計(jì),壽命長(zhǎng)、抗污染能力強(qiáng);高靈敏度電離室配合自動(dòng)零點(diǎn)抑制,低真空段亦能精準(zhǔn)測(cè)量;內(nèi)置過(guò)壓保護(hù)與自診斷,異常狀態(tài)自動(dòng)報(bào)警;支持多通道擴(kuò)展與遠(yuǎn)程監(jiān)控,適配真空系統(tǒng)自動(dòng)化集成。
半導(dǎo)體薄膜沉積、粒子加速器真空系統(tǒng)、表面分析儀器(XPS/AES)、空間模擬艙、科研級(jí)超高真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)等對(duì)真空度穩(wěn)定性與測(cè)量可靠性要求極高的場(chǎng)合。
上海雙旭 ZDV-IC 冷陰極電離真空計(jì)(超高真空計(jì))產(chǎn)品使用說(shuō)明
1. 安裝與連接:將真空計(jì)通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)KF或CF法蘭接口牢固安裝在真空系統(tǒng)上,確保密封無(wú)泄漏。連接電源線(220V AC,50Hz)和信號(hào)輸出線(如RS485或模擬輸出),注意極性正確,避免短路。
2. 啟動(dòng)操作:首次使用前,確認(rèn)真空系統(tǒng)壓力低于10⁻² Pa,否則高電壓放電可能損壞電極。按下電源開(kāi)關(guān),等待儀器自檢(約10秒),顯示屏顯示當(dāng)前壓力值。若未顯示,檢查連接或電壓。
3. 測(cè)量與范圍:ZDV-IC 適用于10⁻¹ Pa 至 10⁻⁷ Pa 的真空度測(cè)量,超出范圍(如高氣壓時(shí))自動(dòng)報(bào)警并切斷高壓以防過(guò)載。讀取數(shù)據(jù)時(shí),注意環(huán)境溫度(0-40°C)和磁場(chǎng)干擾,避免影響精度。
4. 校準(zhǔn)與維護(hù):儀器出廠時(shí)已校準(zhǔn),但建議每年或更換電極后返廠校準(zhǔn)。日常使用中,定期檢查電極是否污染,用無(wú)水乙醇清潔表面(斷電后操作)。若測(cè)量漂移顯著,需更換冷陰極單元。
5. 安全與關(guān)機(jī):操作時(shí)避免觸碰高壓端子(最高3kV),關(guān)機(jī)前先關(guān)斷高壓(如有獨(dú)立開(kāi)關(guān)),再切斷總電源。長(zhǎng)期閑置時(shí),存放于干燥環(huán)境。
上海雙旭 ZDV-IC 冷陰極電離真空計(jì) 優(yōu)點(diǎn)
1. 超高測(cè)量范圍:覆蓋從10⁻¹ Pa到10⁻⁷ Pa的寬真空度區(qū)間,尤其適用于超高真空環(huán)境,無(wú)需像熱陰極計(jì)那樣對(duì)低真空敏感。
2. 長(zhǎng)壽命與低維護(hù):采用冷陰極電離原理,無(wú)燈絲燒毀風(fēng)險(xiǎn),電極壽命超過(guò)20,000小時(shí),顯著減少更換頻率和停機(jī)成本。適合苛刻的工業(yè)或科研場(chǎng)景。
3. 高精度與穩(wěn)定性:內(nèi)置微處理器和溫度補(bǔ)償電路,測(cè)量誤差≤±15%(讀數(shù)),重復(fù)性?xún)?yōu)異。信號(hào)輸出線性度良好,可集成到自動(dòng)控制系統(tǒng)中。
4. 緊湊與耐震動(dòng):機(jī)身緊湊(約150mm高),抗震動(dòng)和沖擊設(shè)計(jì),適合安裝在移動(dòng)設(shè)備或振動(dòng)環(huán)境中。無(wú)移動(dòng)部件,可靠性高。
5. 智能報(bào)警與通訊:支持預(yù)設(shè)上下限報(bào)警,自動(dòng)回應(yīng)過(guò)壓或故障狀態(tài)?蛇x配RS485接口,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和數(shù)據(jù)記錄,提升操作效率。