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ZDV-IC 冷陰極電離真空計(jì)(超高真空計(jì)) 
產(chǎn)品名稱(chēng): ZDV-IC 冷陰極電離真空計(jì)(超高真空計(jì))
產(chǎn)品型號(hào): shaungxu
產(chǎn)品報(bào)價(jià):
 
   
 產(chǎn)品詳細(xì):

ZDV-IC 冷陰極電離真空計(jì)(超高真空計(jì))

 

上海雙旭 ZDV-IC 冷陰極電離真空計(jì)(超高真空計(jì))介紹

產(chǎn)品概述:ZDV-IC 為上海雙旭電子有限公司研制的冷陰極電離真空計(jì),專(zhuān)用于測(cè)量超高真空環(huán)境(10⁻³ ~ 10⁻¹⁰ Pa),采用無(wú)熱陰極結(jié)構(gòu),避免燈絲燒毀風(fēng)險(xiǎn),適合長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行及惡劣工況下的真空監(jiān)測(cè)。

產(chǎn)品參數(shù)

  • 測(cè)量范圍:1×10⁻³ Pa ~ 1×10⁻¹⁰ Pa(分段線性/對(duì)數(shù)輸出)
  • 工作電壓:DC ±15V(控制與供電一體),功耗 ≤5W
  • 發(fā)射電流:0.5~5 mA(可調(diào))
  • 響應(yīng)時(shí)間:≤200 ms(滿量程切換)
  • 輸出信號(hào):0~10V 模擬量 / RS485 數(shù)字通信(可選)
  • 耐壓能力:傳感器可短時(shí)承受 1×10⁻² Pa 大氣沖擊(≤10秒)
  • 工作溫度:傳感器 -20℃ ~ +80℃,控制器 0℃ ~ +50℃
  • 預(yù)熱時(shí)間:≤30 min(達(dá)到穩(wěn)定讀數(shù))
  • 安裝接口:CF16 / KF25 / DN16 ISO-KF(可選法蘭)
  • 尺寸重量:傳感器 φ28×120 mm,約 150 g;控制器 160×100×60 mm,約 500 g

功能特點(diǎn)

冷陰極無(wú)燈絲設(shè)計(jì),壽命長(zhǎng)、抗污染能力強(qiáng);高靈敏度電離室配合自動(dòng)零點(diǎn)抑制,低真空段亦能精準(zhǔn)測(cè)量;內(nèi)置過(guò)壓保護(hù)與自診斷,異常狀態(tài)自動(dòng)報(bào)警;支持多通道擴(kuò)展與遠(yuǎn)程監(jiān)控,適配真空系統(tǒng)自動(dòng)化集成。

使用注意事項(xiàng)

  • 嚴(yán)禁在壓力 ≥1×10⁻² Pa(接近大氣壓)狀態(tài)下長(zhǎng)時(shí)間通電,否則會(huì)導(dǎo)致離子流過(guò)載損壞傳感器。
  • 首次安裝或長(zhǎng)期停用后啟用,需按規(guī)程預(yù)熱≥30分鐘,確保讀數(shù)穩(wěn)定后方可記錄數(shù)據(jù)。
  • 被測(cè)氣體含油蒸氣、粉塵或腐蝕性成分時(shí),應(yīng)在真空計(jì)前端加裝冷阱或過(guò)濾裝置,防止污染電離室。
  • 避免機(jī)械振動(dòng)與強(qiáng)磁場(chǎng)干擾,傳感器引線須屏蔽并遠(yuǎn)離大功率設(shè)備。
  • 定期校準(zhǔn)(建議每12個(gè)月一次),尤其在高精度測(cè)量或關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)前。
  • 斷電前若系統(tǒng)處于高真空,應(yīng)先關(guān)閉電離計(jì)電源再放氣,防止瞬時(shí)沖擊。
  • 控制器應(yīng)避免潮濕與灰塵侵入,保持通風(fēng)良好,防止過(guò)熱。

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體薄膜沉積、粒子加速器真空系統(tǒng)、表面分析儀器(XPS/AES)、空間模擬艙、科研級(jí)超高真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)等對(duì)真空度穩(wěn)定性與測(cè)量可靠性要求極高的場(chǎng)合。

ZDV-IC 冷陰極電離真空計(jì)(超高真空計(jì))

 

上海雙旭 ZDV-IC 冷陰極電離真空計(jì)(超高真空計(jì))產(chǎn)品使用說(shuō)明

1. 安裝與連接:將真空計(jì)通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)KF或CF法蘭接口牢固安裝在真空系統(tǒng)上,確保密封無(wú)泄漏。連接電源線(220V AC,50Hz)和信號(hào)輸出線(如RS485或模擬輸出),注意極性正確,避免短路。

2. 啟動(dòng)操作:首次使用前,確認(rèn)真空系統(tǒng)壓力低于10⁻² Pa,否則高電壓放電可能損壞電極。按下電源開(kāi)關(guān),等待儀器自檢(約10秒),顯示屏顯示當(dāng)前壓力值。若未顯示,檢查連接或電壓。

3. 測(cè)量與范圍:ZDV-IC 適用于10⁻¹ Pa 至 10⁻⁷ Pa 的真空度測(cè)量,超出范圍(如高氣壓時(shí))自動(dòng)報(bào)警并切斷高壓以防過(guò)載。讀取數(shù)據(jù)時(shí),注意環(huán)境溫度(0-40°C)和磁場(chǎng)干擾,避免影響精度。

4. 校準(zhǔn)與維護(hù):儀器出廠時(shí)已校準(zhǔn),但建議每年或更換電極后返廠校準(zhǔn)。日常使用中,定期檢查電極是否污染,用無(wú)水乙醇清潔表面(斷電后操作)。若測(cè)量漂移顯著,需更換冷陰極單元。

5. 安全與關(guān)機(jī):操作時(shí)避免觸碰高壓端子(最高3kV),關(guān)機(jī)前先關(guān)斷高壓(如有獨(dú)立開(kāi)關(guān)),再切斷總電源。長(zhǎng)期閑置時(shí),存放于干燥環(huán)境。

上海雙旭 ZDV-IC 冷陰極電離真空計(jì) 優(yōu)點(diǎn)

1. 超高測(cè)量范圍:覆蓋從10⁻¹ Pa到10⁻⁷ Pa的寬真空度區(qū)間,尤其適用于超高真空環(huán)境,無(wú)需像熱陰極計(jì)那樣對(duì)低真空敏感。

2. 長(zhǎng)壽命與低維護(hù):采用冷陰極電離原理,無(wú)燈絲燒毀風(fēng)險(xiǎn),電極壽命超過(guò)20,000小時(shí),顯著減少更換頻率和停機(jī)成本。適合苛刻的工業(yè)或科研場(chǎng)景。

3. 高精度與穩(wěn)定性:內(nèi)置微處理器和溫度補(bǔ)償電路,測(cè)量誤差≤±15%(讀數(shù)),重復(fù)性?xún)?yōu)異。信號(hào)輸出線性度良好,可集成到自動(dòng)控制系統(tǒng)中。

4. 緊湊與耐震動(dòng):機(jī)身緊湊(約150mm高),抗震動(dòng)和沖擊設(shè)計(jì),適合安裝在移動(dòng)設(shè)備或振動(dòng)環(huán)境中。無(wú)移動(dòng)部件,可靠性高。

5. 智能報(bào)警與通訊:支持預(yù)設(shè)上下限報(bào)警,自動(dòng)回應(yīng)過(guò)壓或故障狀態(tài)?蛇x配RS485接口,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和數(shù)據(jù)記錄,提升操作效率。

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