ZDZ-52SK 電阻真空計(皮拉尼真空計)
上海雙旭ZDZ-52SK 電阻真空計(皮拉尼真空計)介紹
產(chǎn)品概述
上海雙旭ZDZ-52SK為電阻式(皮拉尼)真空計,基于熱絲電阻隨氣體壓力變化而改變的原理測量真空度,適用于中低真空范圍快速檢測,廣泛用于科研、真空鍍膜、半導(dǎo)體制造及各類工業(yè)真空系統(tǒng)監(jiān)控。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量原理:皮拉尼(熱阻式)
- 測量范圍:1×105 Pa ~ 1×10-1 Pa(或按型號定制0.1Pa~大氣壓)
- 顯示分辨率:0.1 Pa(低量程段),1 Pa(高量程段)
- 精度等級:±15% F.S.(在穩(wěn)定條件下)
- 響應(yīng)時間:≤3 s(典型值)
- 工作溫度:-10℃ ~ +50℃
- 存儲溫度:-20℃ ~ +60℃
- 供電電源:AC 220V ±10%,50Hz 或 DC 24V(依版本)
- 輸出信號:模擬量4~20mA、0~5V、0~10V可選;RS485/232通信接口(部分型號)
- 探頭耐溫:最高200℃(連續(xù))/250℃(短時)
- 機(jī)械接口:KF16/KF25/CF系列法蘭(可定制)
- 防護(hù)等級:IP54(儀表主體)
- 重量:約300g(不含電纜與安裝件)
使用注意事項
- 皮拉尼計對氣體種類敏感,不同氣體分子導(dǎo)熱性差異會導(dǎo)致測量偏差,需按實際介質(zhì)校準(zhǔn)或使用修正系數(shù)。
- 探頭必須在清潔環(huán)境下安裝,避免油污、粉塵附著影響熱絲散熱,導(dǎo)致讀數(shù)漂移或不準(zhǔn)。
- 嚴(yán)禁在高壓、過壓狀態(tài)下啟動,防止熱絲燒毀;開機(jī)前確認(rèn)系統(tǒng)壓力在允許范圍內(nèi)。
- 在高氧或腐蝕性氣體環(huán)境使用時,應(yīng)選用耐腐蝕材質(zhì)探頭,否則會縮短壽命甚至損壞。
- 測量范圍下限受氣體導(dǎo)熱特性限制,不可用于超高真空(<10-2 Pa),應(yīng)配合電離規(guī)使用。
- 避免探頭受到機(jī)械沖擊或振動,以免熱絲變形或斷裂。
- 定期清潔或更換探頭,建議每6~12個月檢查一次零點和靈敏度,必要時重新校準(zhǔn)。
- 安裝位置應(yīng)避免強(qiáng)電磁干擾源,防止信號異常。
- 斷電后再次通電需預(yù)熱數(shù)分鐘至讀數(shù)穩(wěn)定,才可讀取有效數(shù)據(jù)。
- 若系統(tǒng)有突發(fā)壓力沖擊(如破空),應(yīng)立即關(guān)閉探頭電源或切換至保護(hù)模式,防止熱絲過熱損毀。
特點與應(yīng)用
ZDZ-52SK結(jié)構(gòu)緊湊,響應(yīng)快,成本適中,適合中低真空在線監(jiān)測與控制。具備多接口輸出,易集成到自動化系統(tǒng)。常用于真空爐、冷凍干燥機(jī)、分析儀器、真空包裝機(jī)等場合。 |