DH2006 型直流磁控輝光等離子體實(shí)驗(yàn)裝置價(jià)格 【上海雙旭】
上海雙旭DH2006型直流磁控輝光等離子體實(shí)驗(yàn)裝置
產(chǎn)品概述
DH2006型直流磁控輝光等離子體實(shí)驗(yàn)裝置是一種用于材料表面改性、薄膜沉積、等離子體物理與化學(xué)基礎(chǔ)研究的教學(xué)科研設(shè)備。它通過直流高壓在低氣壓環(huán)境下激發(fā)氣體產(chǎn)生輝光放電，并利用磁場約束和增強(qiáng)等離子體，形成高密度、均勻的等離子體區(qū)域。
產(chǎn)品參數(shù)
- 電源類型：直流高壓電源
- 電源電壓：0-2000V可調(diào)
- 最大輸出電流：通常為200-500mA范圍（具體以實(shí)際型號為準(zhǔn)）
- 真空室尺寸：通常為直徑200-300mm，高度250-350mm的不銹鋼腔體
- 極限真空度：≤5.0×10-3 Pa（機(jī)械泵）或更高（可選配分子泵）
- 工作氣壓范圍：5-50 Pa（典型輝光放電區(qū)間）
- 磁場系統(tǒng)：永磁體或電磁線圈，用于產(chǎn)生軸向或徑向磁場
- 氣體通路：1-2路質(zhì)量流量計(jì)控制進(jìn)氣（如Ar、N2、O2等）
- 樣品臺：可接偏壓電源，具備水冷或自然冷卻功能
- 控制系統(tǒng)：手動或PLC/觸摸屏控制（取決于配置）
使用注意事項(xiàng)
- 高壓安全：裝置工作時(shí)存在直流高壓，必須確保接地可靠，操作時(shí)佩戴絕緣手套，放電結(jié)束后需對電極進(jìn)行放電操作。
- 真空系統(tǒng)：嚴(yán)格按照操作規(guī)程抽真空和破空，防止油污倒吸或腔體變形。定期檢查密封圈并保持清潔。
- 氣體操作：使用惰性氣體或反應(yīng)氣體時(shí)，需確保氣路無泄漏，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)通風(fēng)良好，特別是使用易燃、有毒氣體時(shí)需配備氣體檢測與報(bào)警裝置。
- 磁場與熱管理：注意強(qiáng)磁場對周圍電子設(shè)備的干擾。長時(shí)間運(yùn)行需監(jiān)控樣品臺和電源溫度，防止過熱。
- 維護(hù)保養(yǎng)：定期清潔真空室內(nèi)壁和電極上的沉積物，檢查電源線路和真空泵油位與油質(zhì)。
- 專業(yè)操作：建議由經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員操作，首次使用前需詳細(xì)閱讀設(shè)備說明書。
價(jià)格說明
該設(shè)備為定制化教學(xué)科研儀器，價(jià)格受配置（如真空泵等級、電源功率、控制系統(tǒng)、附加診斷探頭等）影響較大。通常基礎(chǔ)配置價(jià)格在人民幣8萬至15萬元之間，具體價(jià)格需直接咨詢生產(chǎn)商【上海雙旭電子有限公司】獲取最新報(bào)價(jià)單。 |
