上海雙旭ZDF-X-LED雙電阻單電離復合真空計測量儀

核心產(chǎn)品參數(shù)

ZDF-X-LED是一款集成雙電阻規(guī)與單電離規(guī)的復合真空測量儀器，可覆蓋從低真空到高真空的寬量程測量需求，參數(shù)如下：

測量量程：電阻規(guī)1（粗低真空）1×10⁵ Pa~1×10⁻¹ Pa；電阻規(guī)2（低真空）1×10⁻¹ Pa~1×10⁻³ Pa；電離規(guī)（高真空）1×10⁻³ Pa~1×10⁻⁸ Pa
顯示方式：LED數(shù)碼管數(shù)字顯示，清晰直觀，支持量程自動切換顯示
規(guī)管配置：標配雙電阻規(guī)管（如ZJ-52T型）+ 單電離規(guī)管（如ZJ-27型），可兼容同類型標準規(guī)管
測量精度：電阻規(guī)±10%，電離規(guī)±15%（滿量程范圍內(nèi)）
控制功能：具備過壓保護、規(guī)管失效報警、燈絲狀態(tài)指示，支持手動/自動量程切換
供電要求：AC 220V±10%，50Hz，功率≤30W
工作環(huán)境：溫度0℃~40℃，相對濕度≤80%（無冷凝）
外形尺寸：嵌入式安裝尺寸160mm×80mm×200mm（寬×高×深），適配標準機柜開孔

作為復合式真空測量設備，ZDF-X-LED兼顧寬量程覆蓋與測量穩(wěn)定性，適用于真空鍍膜、真空熱處理、半導體制造等場景：

1. 多量程復合設計，一臺設備即可完成從大氣環(huán)境到高真空的連續(xù)測量，無需更換儀器，簡化真空系統(tǒng)配置；

2. LED數(shù)碼管顯示在工業(yè)環(huán)境中具備良好的可視性，即使在強光或遠距離下也能清晰讀取數(shù)值；

3. 內(nèi)置多重保護機制，規(guī)管過流、過壓時自動切斷供電，有效延長規(guī)管使用壽命，保障設備安全；

4. 模塊化規(guī)管接口，支持快速更換規(guī)管，維護便捷，適配不同真空工藝的測量需求。

為確保測量準確性與設備使用壽命，使用過程中需注意以下要點：

1. 規(guī)管安裝與檢漏：規(guī)管需垂直安裝于真空系統(tǒng)的高真空區(qū)域，避免靠近氣源或放氣部件；安裝后需先對系統(tǒng)檢漏，確保真空密封良好，嚴禁在大氣狀態(tài)下開啟電離規(guī)燈絲。

2. 燈絲使用規(guī)范：電離規(guī)燈絲僅在系統(tǒng)真空度達到1×10⁻² Pa以下時方可開啟，避免燈絲在高氣壓下氧化燒斷；長期不使用時需關(guān)閉燈絲供電。

3. 校準要求：新設備啟用或每使用12個月后，需使用標準真空校準裝置進行精度校準，避免因規(guī)管老化導致測量誤差。

4. 環(huán)境防護：設備需安裝在無腐蝕性氣體、無強電磁干擾的環(huán)境中，避免與大功率設備共用同一供電回路，必要時加裝電源濾波器。

5. 日常維護：定期檢查規(guī)管接口密封性，清潔規(guī)管內(nèi)壁（電離規(guī)管可通過電子轟擊除氣）；若出現(xiàn)測量值異常波動，先排查規(guī)管連接線路，再更換規(guī)管測試。

6. 操作順序：真空系統(tǒng)啟動時，先開啟電阻規(guī)測量，待真空度達標后再開啟電離規(guī)；停機時需先關(guān)閉電離規(guī)燈絲，再關(guān)閉設備供電，最后對系統(tǒng)破真空。