上海雙旭ZDL-14C冷陰極高真空電離真空計(jì)是專為高真空、超高真空環(huán)境設(shè)計(jì)的測(cè)量?jī)x表，采用冷陰極電離規(guī)技術(shù)，無(wú)需加熱燈絲，具備抗污染、耐高真空腐蝕等特性，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、空間模擬、真空冶金等工業(yè)及科研領(lǐng)域。
規(guī)管安裝前需檢查真空接口清潔度，避免油污、灰塵進(jìn)入規(guī)管內(nèi)部，否則會(huì)導(dǎo)致測(cè)量精度下降或規(guī)管損壞。
開(kāi)機(jī)前需確保測(cè)量系統(tǒng)已達(dá)到預(yù)真空狀態(tài)（建議≤1Pa），禁止在大氣壓或低真空環(huán)境下啟動(dòng)規(guī)管高壓，防止規(guī)管內(nèi)發(fā)生氣體放電損壞部件。
測(cè)量過(guò)程中若出現(xiàn)數(shù)值跳變、無(wú)顯示異常，需先切斷規(guī)管高壓，檢查真空系統(tǒng)密封性，排除漏氣、污染等問(wèn)題后再重新啟動(dòng)。
規(guī)管長(zhǎng)期暴露在大氣中后，再次使用前需進(jìn)行烘烤除氣處理（溫度≤150℃，持續(xù)2-4小時(shí)），去除規(guī)管內(nèi)部吸附的水汽和雜質(zhì)。
主機(jī)應(yīng)安裝在通風(fēng)、干燥、無(wú)強(qiáng)電磁干擾的環(huán)境中，避免與高頻設(shè)備、高壓電源近距離放置，防止電磁干擾影響測(cè)量穩(wěn)定性。
定期校準(zhǔn)：建議每年對(duì)儀表進(jìn)行一次專業(yè)校準(zhǔn)，或使用標(biāo)準(zhǔn)真空比對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行精度驗(yàn)證，確保測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。
維護(hù)時(shí)需切斷電源，嚴(yán)禁帶電拆卸規(guī)管或主機(jī)外殼，避免高壓觸電風(fēng)險(xiǎn)；非專業(yè)人員請(qǐng)勿自行拆解內(nèi)部電路或調(diào)整參數(shù)。
若測(cè)量環(huán)境存在腐蝕性氣體或大量顆粒污染物，需在規(guī)管前端加裝過(guò)濾裝置，延長(zhǎng)規(guī)管使用壽命。
