PVC410 集成數(shù)顯皮拉尼冷陰極真空計（電阻電離復合變送規(guī)）
上海雙旭 PVC410 集成數(shù)顯皮拉尼冷陰極真空計（電阻電離復合變送規(guī)）介紹
產(chǎn)品概述
PVC410 為上海雙旭推出的集成數(shù)顯皮拉尼冷陰極真空計，采用電阻式與電離式復合測量原理，可在寬量程內(nèi)實現(xiàn)高精度真空度檢測。設(shè)備內(nèi)置數(shù)字顯示與信號變送功能，適用于科研、半導體、真空鍍膜、分析儀器等需要快速切換測量模式的場合。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量原理：皮拉尼（熱阻）+ 冷陰極電離復合
- 測量范圍：1×10⁵ Pa ～ 1×10⁻⁸ Pa（依模式自動切換）
- 皮拉尼段范圍：1×10⁵ ～ 1×10⁻² Pa
- 冷陰極電離段范圍：1×10⁻² ～ 1×10⁻⁸ Pa
- 顯示方式：4位 LED 或 LCD 數(shù)顯（可定制）
- 分辨率：皮拉尼 ≤ 0.1%（滿量程），電離 ≤ 10% @ 滿量程
- 精度：±15%（全量程，恒溫環(huán)境）
- 響應(yīng)時間：≤ 1 s（皮拉尼段），≤ 2 s（電離段）
- 輸出信號：0～10V / 4～20mA（可設(shè)），RS485/232 可選
- 供電：DC 24V ±10%，功耗 ≤ 5W
- 工作溫度：+5℃ ～ +40℃
- 存儲溫度：-20℃ ～ +70℃
- 防護等級：IP54（探頭部分 IP65）
- 安裝接口：CF/KF/ISO 法蘭可選
- 材料：304/316L 不銹鋼，陶瓷絕緣體
功能特點
復合測量覆蓋高真空至粗真空，無需更換傳感器；數(shù)字顯示直觀，支持多路輸出便于系統(tǒng)集成；冷陰極電離無燈絲燒損風險，壽命長；抗污染能力強，適合復雜工藝環(huán)境；具備零點校準與滿度校準功能，可現(xiàn)場修正誤差。
使用注意事項
- 禁止在爆炸性氣體或強腐蝕性介質(zhì)環(huán)境下使用，避免探頭損壞或安全事故。
- 安裝時確保法蘭密封良好，防止漏氣影響測量準確性。
- 冷陰極電離段在壓力高于 1×10⁻² Pa 時嚴禁長時間工作，以免離子流過載損壞電極。
- 皮拉尼探頭對氣流沖擊敏感，啟動泵組時應(yīng)避免瞬間大流量直沖探頭。
- 供電電壓須穩(wěn)定在 DC 24V ±10% 范圍內(nèi)，波動過大會導致顯示異�；蛐盘柶�。
- 定期清潔探頭表面污染物，尤其在高揮發(fā)物或粉塵環(huán)境使用后需及時維護。
- 禁止帶電插拔信號線或探頭連接，避免靜電或浪涌損壞電路。
- 長期停用應(yīng)斷開電源并存放在干燥潔凈環(huán)境，防止潮氣侵入電子模塊。
- 校準周期建議每 6～12 個月一次，使用標準真空源進行零點與量程校正。
- 信號輸出接線須匹配負載阻抗，電流輸出時回路負載需在 250Ω～750Ω 之間。
典型應(yīng)用
半導體制造工藝腔室監(jiān)控、真空爐過程控制、質(zhì)譜儀真空度檢測、物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）、科研實驗室真空系統(tǒng)、工業(yè)檢漏設(shè)備等。 |
